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激光應(yīng)用方案

鐳明激光-提供激光應(yīng)用方案助力半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展

為半導(dǎo)體制造提供,晶圓激光開槽機(jī)、晶圓激光隱形切割機(jī)、晶圓打標(biāo)機(jī)等。

行業(yè)解決方案

致力研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類工業(yè)應(yīng)用超精密激光設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、封裝測試以及消費(fèi)電子等相關(guān)加工領(lǐng)域。

  • 激光全切切割

    激光全切切割

    激光全切切割

  • 激光開槽

    激光開槽

    激光開槽

  • 隱形切割應(yīng)用技術(shù)

    隱形切割應(yīng)用技術(shù)

    隱形切割應(yīng)用技術(shù)

GaAs(砷化鎵)等化合物半導(dǎo)體用于高頻器件。使用現(xiàn)有的金剛石刀片對(duì)化合物半導(dǎo)體進(jìn)行刀片切割時(shí),進(jìn)給速度慢,難以獲得高生產(chǎn)率。隨著高度集成化的趨勢,基于SiP(System in Package)等技術(shù)的高強(qiáng)度薄芯片制造技術(shù)已成為必要。然而,使用刀片切割,隨著晶片厚度變薄,切割難度增加。

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應(yīng)用于高速邏輯元器件絕緣膜的Low-k膜,因其機(jī)械強(qiáng)度低,若使用普通的刀片進(jìn)行切割加工,會(huì)發(fā)生Low-k膜剝落的風(fēng)險(xiǎn)。這種通過激光去除Low-k膜以及相應(yīng)配線層的加工,就是激光開槽工藝。

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隱形切割是將激光聚光于工件內(nèi)部,在工件內(nèi)部形成改質(zhì)層,通過擴(kuò)展膠膜等方法將工件分割成芯片的切割方法。

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新聞資訊

攜手未來,更多可能

以科學(xué)的管理、卓越的技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)、完善服務(wù)和良好的信譽(yù)為保證,立志成為具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和比較強(qiáng)大核心競爭力的公司。

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